由于各種真空泵的性能除均能滿足對(duì)容器進(jìn)行抽真空這一共同點(diǎn)之外,尚有一些不同之處,因此在選用時(shí),必須明確泵在真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù)是十分重要的。根據(jù)不同的抽氣能力和工作環(huán)境,確定泵在各種不同工作領(lǐng)域中所起的作用,總體上可以分為以下幾個(gè)方面:
(1)主泵。就是真空系統(tǒng)對(duì)被抽容器直接進(jìn)行抽真空,以獲得滿足工藝所要求真空度的真空泵。
(2)粗抽泵。對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空直到系統(tǒng)壓力降低到另一抽氣系統(tǒng)開(kāi)始工作的真空度。
(3)前級(jí)泵。它是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其最高許可的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。
(4)維持泵。它是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí),不能有效地利用主要前級(jí)泵,為此,在真空系統(tǒng)中配置一種抽氣速度較小的輔助前級(jí)泵以便維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。
(5)粗(低)真空泵。它是指從大氣開(kāi)始,降低被抽容器的壓強(qiáng)后工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)范圍內(nèi)的真空泵。
(6)高真空泵。它是指在高真空范圍工作的真空泵。
(7)超高真空泵。它是指在超高真空范圍工作的真空泵。
(8)增壓泵。通常指工作在低真空泵和高真空泵之間,用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強(qiáng)范圍的抽氣量或降低前級(jí)泵抽氣速率要求的真空泵。