動量傳輸泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。具體可分為下述幾種類型。
1.分子真空泵,它是利用高速運動的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有以下幾種類型:
(1)索引分子泵,氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量,被送到出口,因此是一種動量傳輸泵。
(2)渦輪分子泵,泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高,這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
(3)復合分子泵,它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合式分子真空泵。
2.噴射真空泵,它是利用文丘里(Venturi)效應的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵,適于在黏滯流和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種:
(1)液體噴射真空泵,以液體(通常為水)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
(2)氣體噴射真空泵,以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
(3)蒸氣噴射真空泵,以蒸氣(水、油或汞等蒸氣)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵,其中使用油蒸氣的噴射泵也稱為油增壓泵,或稱油擴散噴射泵。
3.擴散泵,以低壓高速蒸氣流(油或汞等蒸氣)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵,氣體分子擴散到蒸氣射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。油擴散泵具有分餾裝置,使蒸氣壓強較低的工作液蒸氣進入高真空工作的噴嘴,而蒸氣壓強較高的工作液蒸氣進入低真空工作的噴嘴,它是一種多級油擴散泵。