干式真空泵的應用及分類
發(fā)布時間：2015年12月14日 09:29 閱讀：5063
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澤德
在近年來，由高真空油擴散泵和作為前級泵的油封式機械泵組成的排氣系統(tǒng)，在各工業(yè)部門廣泛得到應用。在這樣的真空系統(tǒng)中不可避免地要發(fā)生油蒸氣的返流、使真空容器遭到污染，而且在真空容器中進行作業(yè)所用的工藝氣體會在油中溶解，工藝過程反應生成的顆粒狀副產(chǎn)物也會在油中積聚，使油本身變質劣化。
近年來，半導體芯片制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出的要求，作為高真空泵不能有油蒸氣存在，因此無油的渦輪分子泵、復合分子泵在該領域得到了廣泛的應用。但是，前級泵還沒有真正解決真空系統(tǒng)無油污染的技術難題。1984年以前研制過一些實驗室和專門用途的干式泵。但價格昂貴、運行間隙過小，很難在商業(yè)上推廣應用。之后，相繼出現(xiàn)了多種型式的干式泵，主要應用于半導體產(chǎn)業(yè)。
干式真空泵也稱為無油真空泵。在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體。排氣口與大氣相通，能連續(xù)向大氣中排氣。能產(chǎn)生10-2Pa壓力范圍的真空。
干式真空泵的分類
現(xiàn)在市場上提供的干式真空泵種類很多。可分為兩類：容積式和動量傳輸式。容積式無油真空泵，如多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1～10Pa，抽速為0.01～0.04m3/s。動量傳輸式的無油真空泵，如渦輪式無油泵。排氣側與大氣相接，在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵，可從標準大氣壓抽到10-2Pa。在結構上采用徑向和周向流泵的復合式結構，多級串聯(lián)取氣。這種泵的極限壓力約為10-2Pa，抽速為0.02～0.15m3/s。
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