低溫冷凝泵是利用低溫表面冷凝、捕集、吸附被抽空間的氣體,使被抽空間的氣體壓強(qiáng)大大降低,從而獲得并維持真空狀態(tài)的抽氣裝置。所抽走的氣體不是直接排到泵外,而是吸附存儲(chǔ)在泵內(nèi)。低溫冷凝泵抽氣的基本原理是設(shè)法使某一固體表面溫度足夠低,使被抽氣體的飽和蒸氣壓大大降低,被凝結(jié)在低溫表面上,達(dá)到排除氣相分子的目的。
低溫冷凝泵所抽的氣體往往是混合氣體,如空氣,因而對(duì)某一冷表面來(lái)說(shuō)同時(shí)存在“可凝性”氣體和“不可凝性”氣體。于是在低溫表面上便發(fā)生以下奇特現(xiàn)象:在可凝性氣體的凝結(jié)過(guò)程中,能不斷捕獲其他非可凝成分,并降低其分壓強(qiáng),這種作用稱(chēng)為低溫捕集。