氣體捕集泵分為哪幾種類型?
發(fā)布時間:2016年08月23日 09:21 閱讀:5024
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澤德
氣體捕集泵是一種將氣體分子吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目以達(dá)到抽氣目的的真空泵,有以下幾種類型:
(1)吸附泵。主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。
(2)吸氣劑泵。這是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵,吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。
(3)吸氣劑離子泵。它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達(dá)到抽氣的目的。
(4)低溫泵。利用低溫表面來冷凝捕集氣體的真空泵,如冷凝泵和小型制冷機(jī)低溫泵。
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