20世紀(jì)70年代末，人們對真空裝置提出更高要求，即除了能獲得更高真空度之外，還需要在排氣之后導(dǎo)人各種各樣的氣體，并使其在真空裝置中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。所采用的泵應(yīng)能高抽速地排除這類富于反應(yīng)性的氣體，需要的排氣能力甚至比低溫冷凝泵還高。為了滿足這種日益增長的需求，渦輪分子泵和復(fù)合渦輪泵逐漸推廣普及。

　　1.渦輪分子泵

　　渦輪分子泵可以認(rèn)為是極為精密的電風(fēng)扇。當(dāng)然，其作用不單單是送風(fēng)，而是靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片對氣體分子施加作用力，并使氣體分子向特定的方向運(yùn)動而實(shí)現(xiàn)高真空。

　　渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子葉片具有特定的形狀，在它以20000～30000r／min的高速旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，葉片將動量傳給氣體分子。葉片組高速運(yùn)動，將位于左側(cè)的氣體分子向右側(cè)空間傳送。實(shí)際上，葉片上述的高速運(yùn)動是靠高速旋轉(zhuǎn)來實(shí)現(xiàn)的。葉片周邊的線速度一般為200～300m／s，相當(dāng)于空氣分子平均速率的1／2，與波音飛機(jī)的航速不相上下。為了獲得高真空，渦輪分子泵中裝有多級，其中轉(zhuǎn)動葉片與固定葉片交互布置。

　　上一級葉片輸送過來的氣體分子又會受到下一級葉片的作用繼續(xù)被壓縮到更下一級。因此，渦輪分子泵的一個(gè)特點(diǎn)是對一般氣體分子的抽除極為有效。

　　由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很高，因而工作時(shí)油蒸氣的回流問題完全可以忽略不計(jì)。渦輪分子泵的極限真空度可達(dá)到10-8Pa的數(shù)量級，抽速可達(dá)1000L／s，而達(dá)到最大抽速的壓力區(qū)間是在l～10-8Pa之間，因而在使用時(shí)需要以旋片機(jī)械泵作為其前級泵。由于渦輪分子泵的價(jià)格較高，因而多使用在需要無油污染的高真空系統(tǒng)之中。

　　2.復(fù)合渦輪泵

　　復(fù)合渦輪泵是在普通渦輪分子泵基礎(chǔ)上，為進(jìn)一步提高排氣量而開發(fā)的。在渦輪分子泵的高壓側(cè)，設(shè)置高速旋轉(zhuǎn)的螺紋，依靠螺紋部位的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，進(jìn)一步將氣體向排出口一方壓縮，增加出口與入口的壓差。這樣，即使吸人口壓力提高，分子泵也能工作，從而將泵的工作壓力范圍向較高壓力一側(cè)擴(kuò)展，以滿足大排氣量的需求。與相同口徑的泵相比，在10Pa的壓強(qiáng)下，抽速可以提高數(shù)倍。復(fù)合渦輪泵是一種新出現(xiàn)的干式泵，適合于大排氣量應(yīng)用。特別是對于在真空室中需要發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，采用濕式泵時(shí)油會變質(zhì)等場合，其優(yōu)勢更為明顯。此外，復(fù)合渦輪泵對于食品等有機(jī)物的處理等也是極為重要的。