羅茨真空泵是一種無泵內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?,利用兩個轉(zhuǎn)子在泵殼中旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用。普通羅茨真空泵不能直接把氣體排到大氣中,必須和前級真空泵串聯(lián)使用,在配用油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵作為前級泵的情況下,羅茨真空泵的極限真空可以小于1Pa。直排大氣羅茨泵可以直接排氣到大氣中,獨特的結(jié)構(gòu)使此種泵的最大允許壓差可達(dá)88kPa,既可單獨使用,也可多臺串聯(lián)使用,還可與普通羅茨泵等其他種類的泵組合使用,提高真空機(jī)組的全程抽速。
羅茨泵的特點如下。
(1)轉(zhuǎn)子與泵體、側(cè)蓋之問有間隙,互不接觸,無須用潤滑油,因而泵腔內(nèi)容易獲得無油真空。
(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,可以提高轉(zhuǎn)速,從而能夠制造出結(jié)構(gòu)緊湊的大抽速泵來。泵的運轉(zhuǎn)也比較平穩(wěn),振動小。
(3)在泵腔內(nèi)不發(fā)生如油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵那樣的壓縮現(xiàn)象,因此不需要排氣閥,可以抽除可凝性蒸氣。
(4)啟動快,能在短時間內(nèi)達(dá)到極限真空,功率小,運轉(zhuǎn)維護(hù)費用低。
(5)泵在很寬的壓力范圍內(nèi)(1~1000Pa)有很大的抽速,能迅速抽除突然放出的氣體,彌補了擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵在此范圍時抽速都很小的缺點。因此最適合作增壓泵用。
羅茨真空泵前級泵的極限真空高低直接影響整套機(jī)組的極限真空,因此需要根據(jù)工作壓力來選擇前級泵。