機械泵工作時泵體的溫度為60~90℃。在60℃下水蒸氣的飽和蒸氣壓為2×104 Pa,當機械泵抽除含有較多水蒸氣的氣體時,若機械泵把空腔內(nèi)的氣體壓縮至1個大氣壓(105Pa),則水蒸氣將液化凝結(jié)混人機械泵油中而排不出去。凝結(jié)在油中的水蒸氣會污染機械泵油,并在活動的零件上形成膠質(zhì)沉淀物?;煊心Y(jié)水的油通過油路進入吸氣空腔,并變成蒸氣再釋放出來,使泵的極限壓強變高。
如果被抽氣體中混有少量的水蒸氣,只要蒸氣含量足夠小,在受到壓縮后仍達不到其飽和壓強值,這種少量水蒸氣是可以被抽除的,不會污染泵油和嚴重影響泵對極限真空,為了能有效抽除含有比較多的水蒸氣的混合氣體,可以在排氣閥附近設(shè)置一個漏人大氣的可調(diào)節(jié)的摻氣閥門。原理是通過摻氣閥門向排氣空腔中摻人一定量的空氣,最多時可達排氣量的10%,以增大排氣空腔中干燥氣體的分壓強,使得在水蒸氣分壓強低于其飽和蒸氣壓時,排氣空腔內(nèi)的混合氣體總壓強大于1個大氣壓,從而能頂開排氣閥排出混合氣體。摻氣泵在摻氣運用時由于出口端壓強增高,密封部位的漏氣量也更多,故極限壓強會增高。由于打開摻氣閥會使泵的性能下降,故只有在被抽氣體中含有較多蒸氣時才打開摻氣閥,一般情況下不打開。要指出的是,如果抽除的是可燃性氣體或蒸氣,則摻人氣體不允許用大氣,而必須用惰性氣體或氮氣作摻入氣體。