濺射離子泵的工作原理及構(gòu)造

濺射離子泵的工作原理及構(gòu)造

　　濺射離子泵的陽極為一薄壁不銹鋼圓筒，陰極是兩塊薄鈦板，分置陽極兩方。陽極、陰極一起裝于不銹鋼外殼中，整個(gè)殼體置于一磁場(chǎng)中，磁力線方向平行于陽極筒軸向，磁通密度約0.1～o.2 T(特斯拉)。工作時(shí)陽極與陰極間加有3～7千伏特直流電壓，從而產(chǎn)生潘寧放電。這是一種在很低壓強(qiáng)下仍能自持的放電，故能使用于高真空和超高真空。

放電產(chǎn)生的離子轟擊陰極時(shí)，會(huì)引起金屬鈦的濺射，濺射的鈦沉積于陽極筒內(nèi)壁及陰極上離子轟擊較少的部位。于是導(dǎo)致了兩個(gè)結(jié)果：

　(1)連續(xù)形成新鮮的活性鈦膜吸氣。

　　(2)連續(xù)掩埋吸附于陽極筒內(nèi)壁及陰極邊角部位(離子轟擊較少的部位)的氣體分子，尤其是惰性氣體離子。

　　由此可知，這種泵的抽氣作用也是基于活性鈦膜的吸附作用和電清除作用，但其鈦膜的形成是由放電引起的陰極濺射來實(shí)現(xiàn)的，避免了熱源，故也稱為冷泵。

　　一般單室的結(jié)構(gòu)，抽速只有1～3 L/s。實(shí)用的泵都是許多單室并聯(lián)而成，陰極則共用一塊鈦板，組成一個(gè)單元，再由多個(gè)單元組合成一個(gè)泵。這種只有陰極、陽極的濺射離子泵稱為二極泵。

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